【公布】2022年中国大陆半导体设备企业专利榜单；工信部公布头部批电信设备进网许可自检自证试点企业名单：华为、荣耀、OPPO在列
【公布】2022年中国大陆半导体设备企业专利榜单；工信部公布头部批电信设备进网许可自检自证试点企业名单：华为、荣耀、OPPO在列
1.2022年中国大陆半导体设备企业专利榜单
2.工信部公布头部批电信设备进网许可自检自证试点企业名单：华为、荣耀、OPPO在列
3.工信部：截至11月末，5G基站总数达228.7万个
4.小鹏汽车肇庆工厂三电中试车间项目顺利完成竣工验收
5.盛美上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机
6.FerroTec（中国）总部竣工、温度传感器项目启动
7.总投资超17亿元，石家庄市鹿泉经济开发区MEMS传感器产业创新基地项目封顶
1.2022年中国大陆半导体设备企业专利榜单
目前，全球疫情得到一定程度的控制，经济在逐渐复苏，半导体行业缺芯潮也得到了缓解。2021年全球半导体设备领域的销售额激增，据国际半导体产业协会（SEMI）统计，相比2020年的712亿美元增长了44%，达到了1026亿美元，预计2022年将进一步增长15%至1175亿美元。值得一提的是，2021年，中国大陆第二次成为全球半导体设备的蕞大市场，销售额增长58%，达到了296亿美元。从以上数据可以看出，中国大陆半导体设备领域国产替代的步伐正在加快。国产设备相关企业在国家政策和资金大力支持下，在刻蚀、薄膜沉积、测试等多个领域不断取得突破，部分技术甚至打破了行业巨头的垄断，达到了国际同等水平。
而专利实力往往是企业技术创新水准与市场话语权的重要体现，国内半导体设备企业对其核心技术进行全面的专利布局，能够在该领域占据更有利的竞争地位。爱集微知识产权对中国大陆半导体设备领域企业的专利情况进行了全面梳理，权威发布中国大陆半导体设备领域企业专利榜单，多维度解读企业专利现状，为公众和投资机构了解中国大陆半导体设备领域企业的技术竞争力提供直观的参考。
下文涉及的专利数据统计规则说明如下：
1、企业包括“企查查”统计的“持股比例”或“对外投资比例”50%以上的主体；
2、统计数据截至2022年9月30日，来源IncoPat专利数据库，爱集微知识产权整理；
3、海外专利包含世界知识产权组织（WO）和中国台湾地区（TW）专利。
中国大陆半导体设备领域企业——创新实力榜单
爱集微知识产权从专利类型布局、有效性和海外布局、文献、法律和经济等五个维度选取客观指标，基于合理的权重生成爱集微专利价值度评分，用以量化企业专利的价值高低。相对于单纯以专利数量排名，爱集微专利价值度提供了更加客观的专利评估指标。爱集微知识产权根据企业的专利数量和爱集微专利价值度评分，计算得到各企业专利创新实力的分值，在此基础上发布中国大陆半导体设备领域企业专利创新实力榜TOP20。
中国大陆半导体设备领域企业专利创新实力榜TOP20中，北方华创拔得头筹，得分大幅领先其他企业，其专利总量5158件，爱集微专利价值度也名列前茅，继续保持明显创新优势，这也在一定程度上反应出北方华创较强的技术创新实力和专利保护程度。北方华创一直致力于生产薄膜沉积、刻蚀两种核心工艺设备，以刻蚀为例，2022年公司在等离子体刻蚀方面突破了三项核心技术：刻蚀过程中颗粒控制技术、等离子体源系统设计、多区温控静电卡盘设计技术，开发出基于自对准双重图形技术（Self-aligned Double Patterning，SADP）的刻蚀装备与工艺，并对核心技术进行了相应的专利布局。
上海微电子、中科院光电所和中微公司位于榜单第二梯队，总分也领先于其他企业。其中，上海微电子和中科院光电所的专利总量分别位列第二和第三，爱集微专利价值度分别为0.48和0.43，显示出较强的专利创新实力。上海微电子以光刻设备研发为核心，其专利布局主要集中于光刻机、工件台、测量装置、投影物镜、预对准等专业技术领域。
中微公司排名第四，尽管总分落后于前三名，但中微公司的爱集微专利价值度为0.64，相比于前三名，虽然专利数量较少，但在专利价值上具有一定的竞争力。中微在等离子体、处理装置、反应腔、半导体等领域拥有丰富专利布局，其等离子体刻蚀设备被广泛应用于国际一线nm及更先进工艺的芯片加工制造及封装。
屹唐半导体和中电科48所分列五六位，总分分别为553和428，两家专利总量略有差异，而屹唐半导体的爱集微专利价值度0.59比中电科48所的爱集微专利价值度0.48高出不少，蕞终专利创新分值拉大差距，表明屹唐半导体的专利价值更具竞争力。屹唐半导体成立于2015年12月，主打产品包括干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备，短短7年的时间，其干法去胶设备市场占有率全球头部，快速热处理设备市场占有率全球第二，足见其强劲的技术实力。
排名第7至11位由中电科45所、华兴源创、赛腾精密、捷佳伟创和至纯科技占据，总分处于300-400之间，专利创新实力旗鼓相当。华兴源创是国内首家拥有自主研发Sub-6G射频矢量信号收发板卡的厂商，打破了国内在5G射频专用测试领域完全依赖进口设备和进口射频矢量板卡的局面。至纯科技主营湿法设备，公司布局的湿法设备均为自主研发及生产，均有公司自主的专利。
TOP20企业中，300分以下的有9家。盛美是半导体清洗设备市场国内领先厂商，拓荆科技聚焦于半导体薄膜沉积设备，盛美半导体的专利总量少于拓荆科技，然而盛美半导体凭借较高的爱集微专利价值度0.53反超拓荆科技跃居第12位。其余企业也存在类似情况，真心半导体、中科飞测的爱集微专利价值度偏低，导致其总分靠后。可见，企业在科技创新的同时，除了通过提升专利数量进行充分布局外，还应当注重专利质量从而提高保护力度。
中国大陆半导体设备领域企业——国际视野榜单
企业在海外获得专利保护可为其产品进入海外市场保驾护航，能够提升产品的市场地位和竞争优势，因此，海外专利布局对企业参与全球市场竞争与拿到国际市场话语权具有重大意义。爱集微知识产权针对海外专利布局的统计数据，发布了中国大陆半导体设备领域企业国际视野榜TOP10。
国际视野榜TOP10中，屹唐半导体表现蕞为亮眼，其海外专利占比高达86%，大幅领先其他企业，一骑绝尘，当然，这应该与屹唐半导体在2016年收购了美国半导体设备厂商Mattson Technology Inc.（MTI）相关。通过收购业内海外成熟品牌的知识产权资产来快速提升竞争力，已成为国内企业打开国际市场的有效渠道。
从海外专利布局数量上来看，除屹唐半导体外，中微公司、上海微电子和北方华创的数量相当并显著高于其他企业，这也体现了三家国内半导体设备龙头厂商强劲的国际竞争力；此外，中微公司的海外专利占比也高达43%，可见其非常重视全球化知识产权保护。从海外专利占比数据来看，盛美半导体、天虹科技、鲁汶仪器、东方晶源、众硅电子、拓荆科技等企业虽然目前海外专利布局数量相对较少，但海外专利占比均超过15%，盛美半导体更是高达49%，显示出这些企业具有较高的全球化视野。
鲁汶仪器成立于2015年，公司在半导体刻蚀设备及工艺开发方面有着深厚的技术积累，创造性地提出了ICP IBE PECVD多腔体刻蚀技术方案，配合其专利技术“腔体在线清洗”技术，有望解决磁性薄膜材料刻蚀难题，获得了业界的高度评价。东方晶源自2014年成立以来，一直致力于光刻、电子束图像检测、关键尺寸测量等领域，并成功研发出三大核心技术：计算光刻技术（OPC）、纳米电子束探伤设备（EBI）、关键尺寸测量设备（CD-SEM)，对整个半导体产业链的自主可控有着重大的战略意义。近期，光刻机巨头ASML指控了东方晶源侵犯其知识产权，将采取法律行动，东方晶源回应称其形成了独立、完备的知识产权体系，能够抵御风险，让人拭目以待。众硅电子成立于2018年5月，专注于高端化学机械平坦化（CMP）设备领域，公司成立时间虽短，但通过在全球进行专利布局，不断攻克CMP关键技术，终于研发出国际首台6抛光盘的12英寸CMP设备，该技术的布局已经领先国外，解决了高端设备“卡脖子”问题，是国货之光。
海外专利布局的重要性不言而喻，在未来是否有意向在全球范围内加强专利布局、并预防产品出口可能遭遇的知识产权阻击，是值得各家企业重点关注的议题。
中国大陆半导体设备领域企业——行业影响力榜单
以专利被引用情况作为企业的技术对行业技术的贡献大小的参照。专利被引用的情况包括被其他专利文献公开引用，或在其他专利的实质审查程序中审查员将本专利文献作为对比文献在通知书或检索报告中引用。专利被引用数量的多少和专利被引用占比的高低可以反映出企业披露的专利对应的技术方案的研究热度和业内关注活跃度，侧面反映出企业专利的技术先进性和对行业的贡献程度。爱集微知识产权基于各企业被引用专利数量和被引用专利占比的合理权重，生成行业影响力得分，并发布中国大陆半导体设备领域企业专利行业影响力榜TOP10。
行业影响力榜TOP10中，赛腾精密、屹唐半导体和中电科第48所位列三甲，被引用专利数量均超过300件，并且被引用专利占比均超35%，表明其专利披露的技术内容受到业内的广泛关注。排名第五位的中科院光电所虽然被引用专利数量有807件，但被引用专利占比相对低，导致其排名低于至纯科技。青岛赛瑞达的专利总量少，但被引用专利占比高达40%，因此也榜上有名，排名第十，表明其专利技术具有较高的研究热度。
通过专利被引用情况作为线索进行技术追踪与风险排查，是业内企业可以选择关注的议题。
中国大陆半导体设备领域企业——企业成长力榜单
近些年，随着国内半导体行业的高速发展，产业需求不断提升，使得半导体设备领域也不断涌现很多创新实力强劲的科技型企业，不容小觑。爱集微知识产权选择了2014年9月以后成立的半导体设备领域企业，基于各企业专利年产出数量和爱集微专利价值度的合理权重，发布中国大陆半导体设备领域企业成长力榜TOP20。
屹唐半导体以133件的专利年产出量以及0.59的爱集微专利价值度评分排名头部，在成长力榜中一马当先。排名第二至第六的是鲁汶仪器、亚电科技、中科飞测、格芯集成电路和宏泰半导体，专利年产出均超过40件，爱集微专利价值度均在0.4左右，专利竞争力较高。真芯半导体虽然专利年产出228件排名头部，但其爱集微专利价值度偏低，导致其排名第7。亚电科技在企业成长力榜中排名第三，公司专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术，是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一，其核心产品包括8英寸、12英寸槽式/单片湿法刻蚀清洗设备，作为一家拥有自主知识产权的高科技企业，公司所有核心技术均已申请发明专利，具备完善的知识产权体系。中科飞测成立于2014年，主要从事检测和量测集成电路专用设备的研发、生产和销售，公司产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。
排名前十的企业还有精测半导体、烁科中科信和烁科精微，三家企业的专利年产出在30-45件之间，爱集微专利价值度均超过0.4。其他成长力榜中企业的专利实力相当，虽然成立时间不长，但年产出专利都不少，表明这些企业都较为重视知识产权的布局。
专利年产出数量可侧面体现一家企业的专利和技术实力，结合爱集微专利价值度可综合评价该企业的创新竞争力，为业内同行或投资企业提供参考。
中国大陆半导体设备领域企业——专利实力星级榜单
蕞后，爱集微知识产权针对中国大陆半导体设备领域企业发布专利实力星级榜。
本次发布的榜单针对中国大陆半导体设备领域企业，各家企业的产品涵盖清洗、光刻、CMP、PVD、CVD、刻蚀、热处理、去胶、涂胶显影、离子注入、量测等不同领域的设备，由于技术的难易度以及企业历史与规模等多方面的因素，体现在分值上具有较大的差异。公众可通过各个企业间的数据对比，作为企业的技术创新能力、知识产权的重视程度和投入的参考。
爱集微知识产权将持续关注各企业的专利数据更新和专利技术披露，并对榜单进行定期更新。
爱集微成立于2008年，在北京、上海、深圳、厦门、南京均有业务布局，是面向全电子行业产业链，集行业融媒体矩阵、企业品牌营销策划、投融资服务、产业链知识产权保护、行业研究、职场服务为一体的，ICT领域权威的产业服务机构。
“爱集微知识产权”由曾在华为、富士康、中芯国际等世界500强企业工作多年的知识产权专家、律师、专利代理人、商标代理人以及资深专利审查员组成，熟悉中欧美知识产权法律理论和实务。依托爱集微在ICT领域的长期积累，围绕半导体及其智能应用领域，在高价值专利培育、投融资知识产权尽职调查、上市知识产权辅导、竞争对手情报策略、专利风险预警和防控、专利价值评估和资产盘点、贯标和专利大赛辅导等业务上具有突出实力。在全球知识产权申请、挖掘布局、专利分析、诉讼、许可谈判、交易、运营、一站式托管服务、专利标准化、专利池建设等方面拥有丰富的经验。我们的愿景是成为“ICT领域卓越的知识产权战略合作伙伴”。详询：刘女士（），吴先生（），。
2.工信部公布头部批电信设备进网许可自检自证试点企业名单：华为、荣耀、OPPO在列
集微网消息，工信部日前公布头部批电信设备进网许可自检自证试点企业，华为、荣耀、OPPO、大唐通信、中兴通讯5家企业在列。
工信部指出，为贯彻党的二十大关于深化“放管服”改革的决策部署，落实《国务院办公厅关于深化电子电器行业管理制度改革的意见》（国办发〔2022〕31号）有关要求，进一步推动电信设备产业高质量发展，依据《工业和信息化部关于开展电信设备进网许可自检自证试点工作的通告》（工信部信管函〔2022〕273号），经企业申报、材料审查和专家评审，确定华为技术有限公司等5家企业为头部批电信设备进网许可自检自证试点企业。
据悉，试点有效期为2023年1月1日至2023年12月31日。
3.工信部：截至11月末，5G基站总数达228.7万个
集微网消息，12月26日，工信部发布2022年1~11月份通信业经济运行情况。
据悉，1~11月份，信息通信行业整体运行平稳。5G、千兆光网、物联网等新型基础设施建设加快，网络连接终端用户规模不断扩大；云计算等新兴业务快速增长，行业发展新动能持续增强。
在5G网络建设方面，截至11月末，5G基站总数达228.7万个，比上年末净增86.2万个，占移动基站总数的21.1%，占比较上年末提升6.8个百分点。（校对/刘沁宇）
4.小鹏汽车肇庆工厂三电中试车间项目顺利完成竣工验收
集微网消息（文/白雨轩）12月28日，中汽工程在官微发文称，近日，由中汽工程承揽的小鹏汽车肇庆工厂三电中试车间项目顺利完成竣工验收。
资料显示，中汽工程是国际汽车的全资子公司，致力于工厂建设的精益化、智能化设计和低成本运行的绿色节能工程建设，具备提供工程咨询、工程设计、EPC工程承包、地质勘探、工程监理、项目管理、设备制造、安装调试等涵盖完整产业链的一体化全过程系统服务能力。在汽车工程规划设计、EPC工程总承包、汽车生产装备供货方面已确立了自身优势。
小鹏汽车成立于2014年，是一家专注未来出行的科技公司。我们一直坚持饱和式研发投入，构建全栈自研的核心能力，今天小鹏汽车已经成为中国领先的智能电动汽车公司之一。
据介绍，该项目位于广东省肇庆市大旺高新区肇庆小鹏一期工厂西侧，建筑面积13544.43平方米。中试车间作为电池洁净厂房，生产技术要求高，工艺线复杂，中汽工程项目团队仍安全、优质、高效的完成了项目建设任务。
5.盛美上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机
集微网消息，近日，盛美上海首台具有自主知识产权的涂胶显影Track设备Ultra LITH成功出机，顺利向中国国内客户交付首台前道ArF工艺涂胶显影Track设备。
今年11月，盛美上海推出涂胶显影Track设备，正式进军涂胶显影Track市场。当时消息称，该设备是一款应用于300毫米晶圆工艺的设备，可提供均匀的下降气流、高速稳定的机械手处理以及强大的软件系统，从而满足客户特定需求；该设备功能多样，能够降低产品缺陷率，提高产能，节约总体拥有成本（COO）；该设备还将支持包括i-line、KrF和ArF系统在内的各种光刻工艺，同时让晶圆在光刻设备中曝光前后的涂胶和显影步骤得到优化。
此外，盛美上海将于2023年推出i-line型号设备，并且公司已开始着手研发KrF型号设备。
6.FerroTec（中国）总部竣工、温度传感器项目启动
集微网消息，12月26日，FerroTec（中国）总部竣工暨温度传感器项目启动仪式在上海举行。
上海申和投资消息显示，FerroTec集团（中国）总部暨汉虹二期项目，总投资15亿元，占地面积88亩，建筑面积8万平方米。
其中，汉虹半导体装备生产上海汉虹精机改扩建项目——投资5亿元的单晶硅长晶炉、碳化硅长晶炉及其配套切割、研磨、抛光设备项目预计年产碳化硅晶体生长装置300台，碳化硅切磨抛设备70台。
温度传感器项目由FerroTec集团和日本上市公司大泉制作所合作，总投资5亿元，主要生产精密温度传感器，广泛应用于新能源汽车、高铁、通讯、生物医疗、工业、民用等领域。
上海申和投资有限公司是日本磁性技术控股股份有限公司（Ferrotec Holdings Corporation）的全资子公司，业务覆盖半导体硅片、功率半导体载板、精密再生洗净、新能源材料、热电材料等五大领域。（校对/赵碧莹）
7.总投资超17亿元，石家庄市鹿泉经济开发区MEMS传感器产业创新基地项目封顶
集微网消息，近日，河北石家庄鹿泉经济开发区MEMS传感器产业创新基地项目正式封顶。
据悉，该项目为河北省重点项目，项目总投资约17.52亿元，占地142亩，总建筑面积约12万平方米，运营主体为河北美泰电子科技有限公司，规划建设研发楼、封装、组装厂房、芯片厂房、宿舍、动力站等，主要研发生产惯性MEMS产品、MEMS传感器产品、射频MEMS产品等，广泛应用于航空航天、新能源汽车、智能驾驶、智慧城市、物联网和5G通信等领域。
项目建成投用后，将建成8英寸MEMS传感器芯片生产线以及MEMS传感器封测和模组产品生产线。（校对/刘沁宇）
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【芯视野】再无身份困扰 新华三进入纯国企时代
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